ห้องปฏิบัติการรูปร่างมีเครื่องวัดความเรียบ ซึ่งให้บริการสอบเทียบความเรียบของ Optical Flat, Optical Parallel, Steel Flat, Straight Plat, Wafer เป็นต้น โดยมีพิสัยการวัดอยู่ 2 ช่วงประกอบด้วย ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 0 – 60 มิลลิเมตร (โดยใช้เครื่องวัดความเรียบรุ่น F601 Flatness interferometer, Fujinon) มีความถูกต้องของการวัดอยู่ที่ 20 นาโนเมตรและขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 60 – 300 มิลลิเมตร (โดยใช้เครื่องวัดความเรียบรุ่น ACCUFIZ-E100S Flatness interferometer, 4D Technology) มีความถูกต้องของการวัดอยู่ที่ 50 นาโนเมตรตามลำดับ โดยเครื่องมือวัดความเรียบทั้งสองชนิดดังกล่าวใช้หลักการวัดแบบ Fizeau interferometer ซึ่งมีการชดเชยค่าความเรียบของออฟติเพลตอ้างอิง ส่งผลให้การวัดชิ้นงานมีความถูกต้องสูงในระดับนาโนเมตร

ห้องปฏิบัติการรูปร่างมีเครื่องวัดความกลม ซึ่งให้บริการสอบเทียบความกลมของ Glass Hemi-sphere, Flick Standard, Master Ball, Cylinder Square เป็นต้น โดยมีเครื่องมือวัด 2 ชนิดประกอบด้วย ชนิด Oil Hydrostatic Bearing มีพิสัยการวัดที่ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 0 – 355 มิลลิเมตร (โดยใช้เครื่องวัดความกลมรุ่น Talyrond73, Taylor Hobson) มีความถูกต้องของการวัดอยู่ที่ 11 นาโนเมตรและชนิด Air Bearing มีพิสัยการวัดที่ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 0 – 300 มิลลิเมตร (โดยใช้เครื่องวัดความกลมรุ่น Talyrond595H, Taylor Hobson) มีความถูกต้องของการวัดอยู่ที่ 12 นาโนเมตร โดยเครื่องมือวัดความกลมทั้งสองชนิดดังกล่าว มีการชดเชยค่าความผิดพลาดจากการหมุนของ spindle ส่งผลให้การวัดชิ้นงานมีความถูกต้องสูงในระดับนาโนเมตร